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VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機
產(chǎn)品概述：
VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。
主要特點：
l 真空吸附方式固定樣件，操作簡便。
l 使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動或飛片。
l 根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡單。
l 設有12組程序，每組包含6個運行階段。
l 電機啟動快速穩(wěn)定，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
l 50W/24V 直流電機
l 適于在Ar氣環(huán)境中工作（真空泵放置在手套箱外）
參數(shù)：
l 電機功率：50W/24V
l 速度范圍：500-10000rpm
l 程序運行：可儲存12組程序，每組程序包含6個運行階段
l 增減速率設置范圍：100rpm/s-2000rpm/s
l 時間范圍：0-60s
l 吸盤：Φ19mm、Φ60mm
進氣口：上蓋有一個直徑6mm的進氣口可將需要的氣體通入腔體，實現(xiàn)在氣氛環(huán)境下旋轉(zhuǎn)涂覆
可選加熱部分：上蓋內(nèi)部增加紅外燈管加熱，采用K型熱偶測溫，數(shù)字溫控器控溫，*高120℃，可使得樣品涂覆后原位烘干，用于薄膜太陽能電池等研究。
產(chǎn)品規(guī)格：
l 尺寸：450mm×280mm×340mm；
l 重量：20kg
京公網(wǎng)安備 11011502003124號
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